催化燃燒法屬于熱力破壞法。其機理是氧化和熱裂解、熱分解廢氣中的成分，使其轉化成   的CO2和H2O。催化燃燒技術為污染物的治理提供了   的經濟解決辦法，廢氣采用催化燃燒處理具有凈化、能耗低、無二次污染等優點。催化燃燒的凈化效率一般都在以上，是、小流量廢氣凈化的    技術。

廢氣處理又稱廢氣凈化，指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到廢氣對外排放的標準的工作。

催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOC的,它凈化物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰,操作溫度較熱氧化低一半,通常為250℃～500℃。由于溫度降低,允許使用標準材料來代替昂貴的材料,地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似,系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。