等離子光氧一體機采用-C波段紫外線與空氣中的氧反應產生臭氧，分離油霧、廢氣等污染介質時，紫外線中的離子起決定性的作用。流星雨狀的離子與介質內分子發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。

廢氣處理常用的方法有:冷凝回收法、吸附法、吸附法(直接吸收法、吸附法、吸附法、催化燃燒法)、直接燃燒法、催化燃燒法等。目前化學廢氣處理常用的設備是熱氧化爐(RTO)。與傳統的催化燃燒和直接燃燒熱氧化爐相比，具有熱、運行成本低、風量大、濃度低的優點。

等離子光氧一體機的保養：

1、強調各工種的相互配合

生產中往往因等離子光氧一體機輔助工作發生錯誤而影響生產的正常運行，如分析的錯誤將引起加料量和物料成分的改變；儀表的指示錯誤會欺騙操作人員，使得實際操作條件偏離工藝規程的要求。電器故障和設備故障也會引起生產的不正常。

2、嚴格遵守廢氣處理工藝技術規程

這些規程是組織生產與進行操作的基本法規，是從生產和實踐中總結出來的規律性的東西。嚴格遵守這些法規是日常運行中重要的一條原則。

3、認真執行各項規章制度

除了嚴格遵守上述規程外，還應有一套適合自己實際情況的運行管理制度，如崗位責任制度，交接班制度，檢測制度，設備保養、檢修制度，健康檢查制度，質量檢驗制度和經濟核算制度等。