等離子廢氣處理設備為減少化工廠、或其它工業中產生的廢氣及對環境的影響，設備將廢氣密封、收集處理。

廢氣分子先經過波段紫外光波破碎分子，打斷其分子鏈；同時，通過分解空氣中的氧和水，臭氧，臭氧進一步吸收能量，形成氧化性能的自由羥基，氧化廢氣分子。同時根據不同的廢氣成分配置多種復合惰性催化劑，提高廢氣處理的速度和效率，從而達到對廢氣進行凈化的目的。

一、廢氣處理裝置經試運轉后，應將調節閥門固定或作出標志，不應隨意改動。若一個處理系統連接幾個排氣點時，在某一排氣點的工藝設備停止運轉時，該排氣罩也不宜關閉，以免改變其他排氣覃的排風量。

二、一般廢氣處理裝置應在工藝設備啟動之前啟動，在工藝設備停止運行數分鐘之后再關閉，以防廢氣未處理擴散到大氣中。

三、日常維護的主要任務是觀察設備、管道、排氣罩;清掃孔、觀察孔等處的漏風、調節好系統的供液量、風量和風壓，排除可能產生故障的隱患。

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以也稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

如果低溫等離子出現打火現象，處理效率更會急劇下降的。因此，通道上布滿密集的放電點，低溫等離子設備在不拉弧以及不打火的情況下，才能夠承受并達到足夠的處理功率，才能有足夠的能量打開的廢氣分子鍵。